LT7130激光调阻机
设备特点
•调阻效率高:调阻速度相对国内其它激光调阻产品高出4-10倍,产能大大提升,单位成本下降。
•调阻精度高:独特的测控技术,测量控制系统精度的一致性好,提升产品附加值;成品率高,单位成本下降。
•软件可编程:可轻松实现客户的不同需求以及高自动化运行,也可作为专门的测试平台,适应性广。
•使用成本低:采用了先进的激光器,无耗材,使用成本较低,长期使用节约大量的费用。
•多功能:可实现陶瓷基片的激光划线、打标,减少设备的再投入。
•大理石基座,可有效减小工作台启动、停止和加速过程中产生的震动,同时保持机台温度的稳定性,性高。
主要技术参数
激光系统 型号规格 LT7130
激光波长 1064nm
激光功率 10W
典型光斑尺寸 35±5µm
对焦方式 自动,计算机程序控制
冷却方式 风冷
激光束定位系统 激光束运动范围 60mm X 60mm
运动分辨率 0.76µm
重复定位精度 ±2.5µm
分步重复运动系统 运动方式 空气悬浮运动,无摩擦力
运动范围 290mm*260mm
重复定位精度 ±2µm
较大运动速度(空载) 900mm/s
测量系统 电阻测量方式 四线制测量或二线制测量
电阻测量精度 中阻0.02%
电阻测量范围 0.1Ω-100MΩ
测量速度 25µs/次
零点及满程误差校正 自动校正
探针定义 可编程任意设定
探针板运动 自动,计算机程序控制