SET3/1064/532/355，SFT3：激光刻阻机/激光修阻机/激光调阻机 激光调阻机的产品特点： --调阻精度高：先进的激光器提供了TEM00高光束质量和极细线宽的激光束；四线制高速测量系统，测量时间仅为25us；拥有软件预调误差补偿功能；　 --调阻速度快：先进的激光器拥有极高的重复频率，在光斑重叠率的情况下能拥有很高速度；德国扫描振镜，扫描速度极快；高精度分步重复机构，空气轴承，移动速度及加速度快；　 --性高：整机配置核心器件均采用原装配置；采用花岗岩台座，稳定；　 --功能强大：拥有温度实时补偿功能；同时具有激光划片和打标功能；　 --运行及维护成本低廉：采用半导体端面泵浦或光纤激光器；使用寿命长，性能稳定；电光转换效率高，节约用电成本；采用风冷系统，无须外置冷却设备；操作简单，无须高额培训成本；　 激光调阻机技术参数：　 --激光器系统：　 激光类型：半导体端面泵浦激光器 / 光纤激光器　 激光波长：1064/532/355nm　 激光平均功率：10W / 20W / 7W(UV355)　 激光频率：200Hz-50KHz　 典型光斑尺寸：30μm　 实际切口取决于材料、光学器件和波长；可根据需要选配532绿激光或355紫外激光小光斑达12μm　 泵浦源使用寿命：20,000—100，000小时　 冷却方式：风冷　 对焦方式：计算机程序控制　 --激光束定位系统：　 激光束运动范围：75mmX75mm（可选配其他规格）　 点到点运动时间：5ms（典型）　 较大速度：7000mm/s　 重复定位精度：2.5μm　 激光束小步进：0.76μm　 --图像监视系统：　 监视方式：激光同轴监视　 较大放大倍数：>100倍　 图像监视显示屏：19寸液晶　 --测量系统：　 激励方式：电流/电压激励　 恒流源：0.01μA~100mA计算机程控选择　 恒压源：0~20V计算机程控选择（可选其它电压范围）　 电阻测量方式：四线制加电流测电压　 直流电压测量：10mV~10V（满程电压）　 调节对象发热控制：程序可设定　 电阻测量精度：低阻：<0.05% 1%/R （R<100Ω） 　 中阻：<0.05%　 高阻：<0.05% 0.02%R（R>0.1MΩ）　 电阻测量范围：0.01Ω-500MΩ　 电阻测量速度：25μs　 直流电压分辨率：0.16μV（在10mV满量程条件下）　 探针板：44针11组四线制（可选其它规格）　 探针板运动：计算机程序控制　 --计算机及软件系统：　 工业控制计算机（双核），17寸液晶　 操作系统：Windows XP　 VB平台开发的可视化应用软件，界面友好，功能强大　 --分步重复运动系统：　 运动XY范围：290x260mm　 运动分辨率：1μm　 定位精度：小于6μm（带误差补偿）　 重复定位精度：小于3μm 　 较大运动速度：900mm/s　 具有温度补偿等功能　 --非接触温度测量：　 温度测量精度：0.2℃　 调阻温度修正：计算机程序控制　 --其它技术指标：　 供电电压：220V AC　 整机功耗：小于1000W　 激光调阻机应用和市场：主要应用于厚膜、薄膜电路的精密调节。广泛应用于厚膜混合集成电路、电子元器件、汽车电器、传感器、科研、片式电阻等行业。