性能特点
用途
WX40是最新型FPD检查显微镜,专为LCD行业TFT玻璃COG导电粒子压痕检查,以及6英寸及以下的集成电路硅片在线检查和实验室分析设计,具有成像清晰,工作距离长,使用便利,应用软件丰富的特点,是一款性价比非常优秀的半导体及微电子工业与科研用显微镜,其微分干涉效果可与进口品牌相媲美。
特点
1)无限远校正光学系统,光效率更高,采用长寿命LED光源,提供出色的图像质量
2)多种高度功能化的附件,能满足各种检验需要,可用于明场、简易偏光、微分干涉观察
技术参数
配 置 参 数
光学系统 无限远色差校正光学系统
观察方法 明场/斜照明/偏振光/DIC
观 察 筒 30°铰链式三目,分光比,双目:三目=100:0或50:50
目 镜 PL10X/22平场高眼点目镜
转 换 器 5孔内倾式转换器,带DIC插槽
物 镜 无限远长工作距平场消色差金相物镜5X LMPL5X /0.15 WD10.8mm
无限远长工作距平场消色差金相物镜10X LMPL10X/0.30 WD10mm
无限远长工作距平场消色差金相物镜20X LMPL20X/0.45 WD4mm
无限远长工作距平场半复消金相物镜50X LMPLFL50X/0.55 WD7.9mm
无限远长工作距平场半复消金相物镜100X LMPLFL100X/0.80 WD2.1mm(选配)
调焦机构 粗微调同轴、粗调行程33mm,微调精度0.001,带粗调机构上限位及松紧调节装置。内置90-240V宽电压变压器,单路电源输出
载 物 台 4寸双层机械移动平台,行程105X105mm,带金属平板平台,右手位X、Y移动手轮,配平台接口
另可选配:6寸、8寸移动平台
反射照明系统 带可变视场光阑与孔径光阑,均可调中心;带滤色片单颗大功率5W LED,白色,光强连续可调
偏光附件 检偏镜可360度旋转,起偏镜和检偏镜均可移出光路