工作原理
1.非接触式激光测厚仪由专用的激光器产生很细的线型光束,以一定的倾角投射到待测量目标上,由于待测量目标与周围基本存在高度差,此时观测到的目标和基板上的激光束相应出现断续的误差,根据三角函数关系可以用观测到的落差计算出待测目标与周围基板存在的高度误差,从而实现非接触式的快速测量.
技术参数
1.测量原理:非接触式,0.005mm镭射激光线
2.测量精度:正负0.002mm
3.重复测量精度:0.002mm
4.重量与外形:60KG W600*D550*H650mm
5.移动平台:X,Y电磁锁闭平台可任意移动
6.视场:10*7.5-1.2*0.8可调节
7.影像系统:高清彩色CCD摄像头
8.照明系统:高亮度环形LED无影光源
9.测量光线:可低至5微米高度激光束
10.容纳较大面积:400*600
11.可测量元件:0201 01005 0.2mm细间IC BGA /CSP