溅射镀膜用靶材
1、规格尺寸:长方形或园形(依客户的要求来进行加工),常是采用多片拼接而成,常用的规格包括:100X100X10mm、190X123X14mm, Ф14吋X0.5吋等。可为客户加工各种规格。.
2、产品度:99.999%。
3、型号为P型,掺杂剂:硼。产品的电阻率:常规型(经济型):∠0.1Ω•cm, 特殊型:0.2--1Ω•cm.
4、精度要求:常规要求为±0.1mm.
5、表面光洁度:表面平整无明显的刀痕。光洁度≦0.7Ra
6、硅板完整性:用肉眼观查无明显的裂纹及缺陷。.
7、其他:硅板边缘及角上经过倒角,以减少碰损的机率。
8、可为客户进行硅板金属化处理: 先在硅板上镀上银厚膜,然后再上焊锡。
9、也可为客户进行包括铜背板的加工及焊接成整体的含铜板的硅靶。