TFT-LCD液晶检查显微镜配有大移动范围的载物台、落射照明器、平场无限远长工作距离明暗场物镜、大视野目镜、图像清晰,衬度好。是针对半导体工业、硅片制造业、电子信息产业、治金工业开发的,作为工业显微镜使用。可进行明暗场观察、落射偏光、DIC观察,广泛用于工厂、研究机构、高等院校对硅片、电路基板、FPD、精密模具的检测分析。
欧米特液晶检查显微镜OMT-5RT技术规格
观察头 30°铰链式三目(50mm-75mm)
目镜 WF10×/25mm
WF10×/20mm,带0.1mm十字分划板
转换器 带DIC插孔明暗场五孔转换器
物镜 平场无限远长工作 距离明暗场物镜:
5×/0.1B.D/W.D.29.4mm
10×/0.25B.D/W.D.16mm
20×/0.40B.D/W.D.10.6mm
40×/0.60B.D/W.D.5.4mm
50×/0.55B.D/W.D.5.1mm选配
80×/0.75B.D/W.D.4mm选配
100×/0.80B.D/W.D.3mm选配
可供附件 目镜:WF15×/17mm、WF20×/12.5mm
130万、200万、300万、500万像素CMOS电子目镜
平场无限远长工作距离明暗场物镜:50×/0.55B.D/W.D.5.1mm、
80×/0.75B.D/W.D.4mm、100×/0.80B.D/W.D.3mm
二维测量软件
金相图像分析软件
DIC(10×、20×、40×、100×)
摄影装置及CCD接口0.5×、0.57×、0.75×
压平机
数字相机OMT-130C,OMT-300C和OMT-500C 测量软件OMT-1.5D