测量型金相显微镜
产品用途
测量型金相显微镜是一种兼顾影像与目视的高精度、率测量仪器。该产品具有电视成像与目视光学两套瞄准系统,可人工观察金属表面的金相组织结构,是集光、机、电、算、影像于一体的显微镜。该产品以二维测量为主,也可作三维辅助测量,广泛应用于电子组件、精密模具、塑料、PCB加工方面等工业领域。
产品特点
● X、Y、Z轴0.5μm分辨率;
● 高精度非接触式光测高度量测模块;
● Z轴粗调/微调旋钮;
● 同轴表面光/底光测量;
● 内建偏光量测光学模块;
● 可量测透明材质纳米级高度差
技术参数
规格型号 MTM-1510M MTM-2010M
工作行程X、Y、Z轴 150*100*120(mm) 200*100*120(mm)
光学尺分辨率 0.5μm
示值误差 X、Y坐标≤(3 L/75)μm (L为测量长度,单位mm)
影像系统 彩色1/2¨CCD摄像机;640*480像素;结合测量软件
显微镜系统 目镜:10倍
滤光片:红,蓝,绿,白
测量模式:反射,透射,偏光
5孔物镜转换器
照明系统 透射照明光源:白光LED,亮度可调
同轴照明光源:卤素灯,亮度可调
物镜
倍率 5X 10X 20X 30X
工作距离(mm) 20.0 18.3 8.8 2.0
高度量测模块(选配件) 光干涉高度量测模块(M10-CA),高度量测分辨力0.5μm(选配)
倍率:10X,工作距离5mm,光学分辨力2μm
其它参数
外形尺寸(mm) 590*560*850
仪器重量(kg) 100 110
电源功耗 110V—220V 50/60Hz <60W