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日本ULVAC在提供各种真空设备的同时，还提供各种真空泵，真空计测，氦气质朴检漏仪等各种真空配套设备。同时提供优良的售后服务。低温泵也是优势产品之一。
型号 UTM-50 UTM-150 UTM-300 UTM-500 UTM-1500
入口法兰尺寸 CF CF114 CF152 CF203 CF305
JIS VG 65 100 150 250
出口法兰尺寸 NW16 NW25 NW40 JIS VF50
泵速度 N2 50 190 300 550 1600
(l/s) (*1, *2) H2 40 160 260 500 1650
较大压缩比 N2 108
(*1, *3) H2 103 104
极限压力 10-7 10-8
(Pa) (*1, *3)
轴承形式 Top Permanent magnet bearings
Bottom Pivot bearings
冷却方法 Air-cooled/water-cooled
